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簡要描述(shu):低溫等離子(zi)式廢氣(qi)(qi)凈化器主要采用(yong)輝(hui)光放電(dian)、微波放電(dian)、電(dian)暈放電(dian)等方法產(chan)生(sheng)高濃度(du)離子(zi)。放電(dian)的(de)強(qiang)度(du)與(yu)工作室氣(qi)(qi)壓(ya)比較(jiao)(jiao)值較(jiao)(jiao)高。通常輝(hui)光放電(dian)中氣(qi)(qi)體壓(ya)強(qiang)遠低于大氣(qi)(qi)壓(ya)(約(yue)10-8—10-4標準大氣(qi)(qi)壓(ya)>,因(yin)而氣(qi)(qi)體粒(li)子(zi)數 密(mi)度(du)低,粒(li)子(zi)間碰撞耦合(he)弱,電(dian)子(zi)在(zai)外(wai)電(dian)場(chang)加速(su)作用(yong)下(xia)獲取的(de)能量(liang)不能及(ji)時傳遞給重粒(li)子(zi)。
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